上海研发28nm光刻机的背后：开发顶级光刻机的困难

顶级光刻机有多难搞？美国曾有一位工程师感叹道：ASML的光刻机，光一个零件他就调整了10年！拿荷兰最新极紫外光EUV光刻机举例，其内部精密零件多达10万个，比汽车零件精细数十倍！

难怪ASML董事长有底气说：“就算开放图纸，我们中国也造不出光刻机来！”

但是这么多精密零件，都是荷兰独立研发的吗？当然不是！虽然光刻机是荷兰的专利，但是却并非完全由荷兰自主研发，它只掌握其中的关键技术而已。在ASML光刻机的供应链里，荷兰用到了大量他国核心技术和设备，比如：荷兰光刻机的蔡司镜头技术出自德国、复合材料由日本提供、工业精密机床技术靠瑞典支持，而软件技术和电源则来自美国等等。

可以说，ASML的光刻机技术，是集采了世界各国之长，汇聚了全球顶尖技术于一身而诞生的—— 它的背后，是多个国家的集合体，并非荷兰一国！

这就是为何荷兰的光刻机技术能在短短十数年内干到5nm，并且已经向3nm进军的根本原因！虽然我们中国也在搞光刻机，但我们可没有荷兰那么多帮手，西方巴不得我们造不出光刻机，都等着看笑话呢！我们是纯靠自己一国之力在搞光刻机研发！镜头、材料、机床、软件、电源、光源……每一项都需要我们自己造，也正因为这样，上海微电子28nm沉浸式光刻机的交付，才显得那么让人振奋！

因为它不仅体现了中国完全自主研发光刻机的决策正确性，也是国产光刻机迈出的重要一步！虽然相比荷兰的5nm，国产光刻机还有很长一段路要走。但是，没有28nm的诞生，哪来的5nm、3nm呢对吧？

我们承认，我国目前光刻机技术是落后荷兰不少，毕竟中国是在以一国之力，对抗整个西方的技术结晶！但是，搞光刻机、搞科技研发，所需要素是什么？

要人，中国人口世界第一、工程师数量世界第一；

要人才，国外多少尖端技术，都是从中国飞出去的鸡下出来的蛋，中国能培养出他们，自然也有办法让更多的鸡，把蛋下在自己国内！

论科研实力，北斗、盾构机、刻蚀机、5G……这些不都是我国自主研发，然后领先世界的吗？

所以，我们中国已经齐备科研所有要素，要人有人，要人才有人才，肯下功夫肯吃苦，凭什么搞不成光刻机？中国人要对国家有信心！

并且我知道，当我们的国产自研光刻机出来的时候，全供应链一肩挑，到时候哭鼻子的可就不止荷兰了！你们觉得呢？